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在發展中求生存，不斷優化，以良好信譽和科學的管理促進企業迅速發展發光二極管（LED）作為新一代固態照明技術，憑借其較高的發光效率、較長的使用壽命和良好的環保特性，已廣泛滲透于通用照明、顯示背光、汽車照明、信號指示及農業補光等領域。LED加工工藝是指將半導體外延片制備成具有光電性能的芯片的全過程，涵蓋光刻、刻蝕、電極制備、襯底減薄、劃片裂片及測試分選等多個精密工序。這一工藝鏈的成熟度和控制水平，直接決定著LED芯片的光效、色溫一致性、可靠性和制造成本，是半導體照明產業鏈中承上啟下的核心制造環節。工藝流程概覽LED加工工藝的起點是外延片。通過...
查看詳情生物芯片技術是20世紀末期發展起來的一門多學科交叉技術，它將生物分子（如DNA、蛋白質、抗原抗體等）以陣列形式固定于玻璃、硅片或高分子基片表面，實現對大量生物靶標分子的并行檢測與分析。生物芯片加工工藝是指將基片材料加工成具有微結構、化學功能界面和生物分子點陣的微型器件的全過程。該工藝融合了半導體微加工技術、化學表面修飾技術和生物分子固定化技術，為基因組學、蛋白質組學、臨床診斷和藥物篩選等領域提供了高效、微型化的檢測平臺。工藝路線與關鍵步驟生物芯片的加工工藝根據芯片類型（DNA...
查看詳情當LED走向Mini/Micro顯示、高功率UV與深紫外器件，微米PSS的散射增益逐漸觸頂，更細的納米結構才能進一步壓制全反射、匹配短波長光學。把圖形推到100–300nm的納米錐/納米柱，配合光子晶體思路，外量子效率較PSS再提20–40%，NPSS加工工藝是顯示與高亮芯片的下一代襯底技術。NPSS的難點在“納米圖形如何低成本量產”——傳統投影光刻貴、電子束慢，難放大。主流方案是納米壓印光刻（NIL）：先在藍寶石沉SiO?硬掩膜、旋涂UV壓印膠，用納米模板（硬模/PDMS軟...
查看詳情在光譜分析、計量檢測及光通信領域，衍射光柵是核心分光元件，其性能直接取決于表面周期性微結構（溝槽或浮雕）的幾何精度。光柵加工工藝是指將設計好的亞微米至微米級周期結構，通過光刻、刻劃或全息干涉等手段轉移到基板（通常為光學玻璃、熔石英或金屬膜層）上的成套精密制造技術。根據光柵類型不同（反射式/透射式、閃耀/正弦/矩形槽形），主流加工路線可分為機械刻劃法、全息干涉光刻法及電子束直寫+離子束刻蝕法（刻蝕光柵），各工藝在分辨率、槽形控制及量產性上各有側重。主要加工原理與流程機械刻劃工藝...
查看詳情在光譜分析、激光調制與全息成像等前沿光學領域，光柵作為核心色散元件，其性能直接影響著整個系統的分辨能力與光能利用率。閃耀光柵憑借其“鋸齒狀”槽型結構，能夠將衍射能量高度集中在特定的級次上，從而顯著提升特定波長的衍射效率。要實現這種非對稱微觀結構的精密制造，離不開一系列高精度的閃耀光柵加工工藝。本文將深入探討閃耀光柵的工作原理及其主流的微納加工技術。三角槽型與定向衍射原理閃耀光柵與普通矩形溝槽光柵的最大區別在于其槽型截面呈鋸齒狀或三角形（即閃耀角）。根據幾何光學的反射定律，當光...
查看詳情自然界中，蒼蠅與蜜蜂的復眼賦予了它們廣闊的視野與敏銳的運動感知能力。受此啟發，微透鏡陣列作為一種由數十至數百萬個微米級透鏡單元組成的光學元件，正在現代光電設備中扮演著越來越重要的角色。從手機攝像頭的3D傳感，到激光光束的勻化整形，微透鏡陣列通過其獨特的加工工藝，實現了對光場的精細化操控。光場分割與聚焦原理微透鏡陣列的基本原理是將一個大的光學孔徑分割成許多微小的子孔徑。每個微透鏡獨立地將入射光聚焦到焦平面上的特定點，形成一系列離散的光斑陣列。這種結構可以實現多種功能：在照明系統...
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